H01L 47/00 - Приборы с отрицательным объемным сопротивлением, например приборы с эффектом Ганна; способы и устройства, предназначенные специально для изготовления и обработки таких приборов или их частей (приборы, состоящие из нескольких компонентов на твердом теле, сформированных на общей подложке или внутри нее H01L 27/00) [2]